IMEC开发可用于人工皮肤的柔性底板电路和光导波路的连接技术

　比利时研究机构IMEC开发出了柔性底板用电子电路和光导波路的连接技术（英文发布资料）。可将市售的由光检测器和发光元件VCSEL（垂直腔面发射激光器）组成的光电信号转换部分的厚度减至30μm。将其透明化并嵌入柔性底板，连接导波路或微镜的光导波路部分。而且，光检测器和VCSEL采用了GaAs技术。

　　IMEC计划利用该技术开发导波路传感器和光纤传感器。并将这些传感器均嵌入柔性底板。导波路传感器的结构为以硅薄膜层隔离2层聚合物导波路。当外部有压力时，相互交叉的2条导波路会耦合，从而检测出外部压力。利用了在不施加压力的状态下光信号不会产生串扰，而施加压力时，2层导波路之间的距离就会缩小，光信号就可以从一层传输到另一层的原理。此次开发出的技术能够以更低的成本生产高密度的压力传感器。

　　由此次技术制作的传感器质地柔软并具有皮肤的手感，因此，有可能制造出能够高灵敏度地感知不规则活动和表面振动的人工皮肤。